氣動技術是三坐標測量儀設計、制造和使用過程中非常重要的一項技術。氣動技術就是利用壓縮空氣或空氣流動進行各種操作的技術。壓縮空氣是以空氣為原料，因此與空氣性質相同，作為動力源使用，具有安全性高、無公害的特點，因此廣泛應用于機械制造行業。現在，我們要介紹的是三坐標測量機對壓縮空氣質量的一些要求。
一、壓縮空氣質量要求
絕大多數 三坐標測量機 都是采用氣浮軸承使運動軸，因此需要壓縮空氣。壓縮空氣的質量直接影響三坐標測量機的正常工作和使用壽命。一般的三坐標測量機廠商均對壓縮空氣提出一定的要求，三坐標 測量機，其正常工作時對壓縮空氣的基本要求如下：
三坐標測量機本身帶有精度較高的精密過濾器，可以濾水和濾油，但仍應有前置過濾裝置，保證壓縮空氣中不含有油、水和雜質，坐標測量機的前置過濾器須由用戶另購。
二. 壓縮空氣產生原理和雜質的來源
產生、處理和儲存壓縮空氣的設備稱為氣源設備，由氣源設備組成的系統稱為氣源系統。典型的氣源設備包括空氣壓縮機，自動排水器，壓力開關，壓力表，油水分離器，氣罐等。通過電動機驅動的空氣壓縮機，將大氣壓力狀態下的空氣壓縮成較高的壓力，輸送給氣動系統。壓力開關是根據壓力的大小來控制電動機的啟動和停轉。當氣罐內壓力上升到調定的最高壓力時，使電動機停止運轉，當氣罐內壓力降至調定的最低壓力時，則電動機又重新運轉。當氣罐內壓力超過允許限度時，安全閥自動打開向外排氣，以保證氣罐的安全。冷凍空氣干燥式的冷卻器降低壓縮空氣的溫度，將水蒸氣及油污冷凝成液態水滴和油滴。油水分離器用于進一步將壓縮空氣中的油，水分離出來。在冷卻器，油水分離器和氣罐的最低點處，設有手動或自動排水器，以便排除各處冷凝的液態油水。
我們在平時的使用過程中，只要給三坐標測量機優質的氣源，維護保養好空氣軸承、過濾裝置等，就能在一定程度上延長三坐標測量儀的使用壽命，提高使用三次元測量儀的使用效率，測量精度也能得到保證。
